記者李曄

  2023年，全球集成電路產業低迷，市場規模下降8.2%，但同期，我國集成電路產業發展仍穩健，銷售規模增長2.3%。其中，產業比重占全國22.4%的上海尤顯韌性，去年增長6.4%，更在今年1至4月實現17%的增速。這是記者從上海市集成電路行業協會六届四次會員大會暨上海集成電路產業發展國際高峰論壇上獲得的資訊。

  在去年以來上海集成電路產業的增長中，設備資料製造拉動較大，去年實現29%的增長，證明產品品質通過了市場與生產雙重考驗。如現年80歲的尹志堯博士於2004年創辦的中微公司，去年實現了成立以來的最好業績，刻蝕設備新增訂單價值達69.5億元，同比增長60%。公司的CCP電容性高能电浆刻蝕機和ICP電感性低能电浆刻蝕機，可滿足國內95%以上的刻蝕應用需求。而在國際先進的晶片製造客戶生產線上，已有近600台中微的雙反應臺刻蝕設備，其中一半用於5納米及更先進制程。

  事實上，集成電路微觀加工設備是產業真正的底座，去年以約千億美元的產值支撐了約1萬億美元的電晶體晶片製造，由此再支撐約3萬億美元的電子系統，最終帶動全球約20萬億美元的軟件、網絡、電商、傳媒、AI、自動駕駛、ChatGPT等数位智慧產業上層應用。由於是產業的覈心之覈心，囙此近年來國際集成電路產業間彼此制約與限制的舉措中80%以上圍繞設備進行。

  晶片製造需要上千道工序，其中光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備及檢測設備是最關鍵的。現時，我國在DUV和EUV光刻機、電子束檢測等設備領域的自主可控程度存在“高風險”或“難以覆蓋”，但刻蝕機領域與國際先進水準差距不大。如果將晶片製造比作雕刻，光刻機就是將雕刻線稿（電路圖）描繪在資料（晶圓表面）上的畫筆，刻蝕機則是負責剔除線稿多餘部分的雕刻刀。尹志堯在論壇上介紹，中微公司的电浆刻蝕機相當於在頭髮絲直徑七千分之一到上萬分之一的尺度上加工微觀結構。一臺刻蝕機每年要加工10的18次方，相當於打出百萬萬億個又細又深的接觸孔，並實現99.99%的均一性。

  上海市經信委相關負責人介紹，市經信委正聚焦產業鏈中市場配寘難以完全奏效的環節，補上短板，助力集成電路產業進一步發展。如成立上海電子化學品專區，重點發展光刻膠及配套資料等，力爭到2025年與本地集成電路產業電子化學品配套率達70%；又如，在臨港成立中國RISC-V產業聯盟，RISC-V是第五代精簡指令集的簡稱，是軟硬體間一系列介面的標準規範；再如引入瞻芯、天嶽等頭部企業，在臨港超前佈局寬禁帶電晶體即第三代電晶體產業基地等。

  又訊（記者吳越）昨天，上海大學微電子學院黨委、嘉定區菊園新區黨工委、上海微科技工業研究院黨支部簽訂黨建共建協定。作為三方黨建共建的“一號項目”，上海大學微電子學院在菊園新區成立上海集成電路緊缺人才實訓基地，探索工業聯合、產教融合的人才培養模式。