大河報記者樊雪婧攝影張琮

近兩日，鄭州大學何季麟院士帶隊研發的“平板顯示用高性能ITO靶材關鍵技術及工程化”項目榮獲2020年度國家科技發明獎二等獎。消息發出，讓這個突破“卡脖子”科技的“中國靶”備受關注。

“中國靶”長啥樣？它有啥大能量？我們在生活中，能不能遇見它？11月5日，大河報記者走進鄭州大學先進靶材中心，尋找“中國靶”的出生故事。

【先來認識這位靶材大咖】

走進鄭州大學先進靶材中心，大廳最顯眼處的展示臺上，一塊不起眼的炭黑色長方形板塊站在C比特，身旁還展示著它的名片——ITO靶材。

想弄清楚這位大咖的身世？先來說說ITO。ITO，氧化銦錫，這對有色金屬届的“CP”，組合前是黃綠色的粉末，將它倆按照嚴格的比例混合、壓型，製成灰綠色的素胚，放到特製的燒結爐內，經過1700攝氏度左右高溫，變身為黑灰色的陶瓷電晶體。

（實驗室的實驗器材，通訊員張寧供圖）

【“中國靶”問世，可替代進口】

在實驗室裏，記者見到了大小尺寸不同的ITO靶材，通常靶材尺寸越大，濺射到平板上的拼縫就越少，價值也越高。

但有小到大，卻不是一件容易的事。正是因為燒不出大尺寸的ITO靶材，我們被“卡脖子”了很多年。

中國是銦資源大國，但80%靶材市場被日韓壟斷，不僅平板顯示產業仰人鼻息，ITO高端靶材價格也要“看人臉色”。以往靶材價格高達每公斤8000元，如今價格跌至每公斤1300元，80%的降幅正得益於“中國靶”的問世。

“ITO靶材製備自主體系的建立牽繫著占全球65%新興顯示產業的安全，但曾經，中國ITO靶材的研發滯後20年。”提起過去，中國工程院院士、鄭州大學資料學院院長何季麟有些痛心。

為何選擇這一領域？何季麟院士的回答很明確：“國家戰畧需要！”

“在上世紀末，我們便關注ITO靶材的研發，經過20餘年的科技攻關，實現了從無到有、自主研發再到並跑超越，打破了國外科技封鎖，憑藉自主創新力量實現了大尺寸ITO靶材全流程製備的國產化。”

據瞭解，何季麟院士團隊創新發明了ITO靶材粉體製備、素坯注漿成形、無壓氧氣氛燒結與靶坯綁定——關鍵技術體系，建立了ITO靶材製備新型工藝流程，形成了完善的全流程工藝裝備體系及控制標準，實現了ITO靶材粉末冶金科技的創新應用，其技術指標達到了國際先進水準。該科技突破性解决了高性能ITO靶材製備全流程工序的關鍵技術與裝備“卡脖子”問題，填補了國內空白。

在鄭州大學的技術支援下，我省現時建成了完善的ITO靶材研發平臺和生產線，生產的ITO靶材在國內首次成功應用於京東方高世代TFT線，完全可替代進口。

來源：大河新聞編輯：韓弢