大陸資訊網

出戰！國產高精尖光刻機，長春光機破冰物鏡系統，覈心四大件完成

光源系統、物鏡系統、EDA工程、雙工件臺系統是構成光刻機的四大核心部件。决定光刻機制程精度，光刻機最覈心的物鏡系統，近期被長春光機所成功拿下。2021年10月27日消息，中國新聞網報導：長春光機所突破光刻機核心部件“光學投影物鏡”製造關鍵技術，實現了中國超精密光學科技的跨越式發展。換句話說，長春光機所破冰“光學投影物鏡”意味著我們在光學物鏡領域中，已處於業界主流水准。